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今日播報!芯上微裝首臺350nm步進光刻機正式發運，國產高端光刻家族再添新成員

來源：新浪網 時間：2025-11-26 12:16:02


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新華財經上海11月26日電（林鄭宏） 據上海芯上微裝科技股份有限公司11月25日消息，該公司自主研發的首臺350nm步進光刻機（AST6200）正式完成出廠調試與驗收，啟程發往客戶現場，標志著我國在高端半導體光刻設備領域再次實現關鍵突破。

AST6200光刻機是芯上微裝基于多年光學系統設計、精密運動控制與半導體工藝理解積淀，傾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步進式光刻設備，專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進制造場景量身定制。

來源：上海芯上微裝科技股份有限公司官方微信

公司表示，首臺AST6200的發運，只是一個開始。芯上微裝將以此次交付為契機，與產業鏈上下游伙伴緊密協作，加速推進國產光刻設備在更多應用場景的落地與驗證。

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